RF-300I-LD 300W小型自動匹配型射頻電源

簡要描述：300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起，可以自動匹配容抗和感抗，使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2018-11-05
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)

RF-300I-LD 300W小型自動匹配型射頻發(fā)生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。該射頻發(fā)生器在工作時將自動匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起，可以自動匹配容抗和感抗，使得安裝和操作更加方便容易；輸入功率可根據(jù)需要自行進(jìn)行調(diào)整，調(diào)整范圍在5W-300W；冷卻過程采用空氣冷卻，無需采用其它冷卻設(shè)備，節(jié)約了設(shè)計成；噪音極低，對環(huán)境幾乎無污染。該發(fā)生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進(jìn)行鍍膜操作。

產(chǎn)品型號	300W小型自動匹配型射頻電源RF-300I-LD
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率：5W-300W（可調(diào)），穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配：自動匹配，空氣電容 5、冷卻：空氣冷卻 6、噪音：<50dB
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：480mm×400mm×140mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。